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      演讲嘉宾:KLA Instruments - Frank Zhang 博士
    
    
   
        
          
  
    
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      Presented by  Dr. Warren Oliver of KLA Instruments in English with Simplified Chinese subtitles. 演讲嘉宾:KLA Instruments - Dr. Warren Oliver(英文演讲,中文字幕)
    
    
   
        
          
  
    
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      演讲嘉宾:KLA Instruments 资深应用工程师 - Kent Wang,讨论Profilm 3D光学量测技术 (中文)
    
    
   
        
          
  
    
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      演讲嘉宾:KLA Instruments 资深应用工程师 - Marco Tsui(中文)
    
    
   
        
          
  
    
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      演讲嘉宾: KLA Instruments - Jianhui Liang 博士
    
    
   
        
          
  
    
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      超过8微米的厚膜会产生很多光干涉条纹。 分析这样复杂光谱的一个简洁方法就是用快速傅里叶变换。 FILMeasure 软件包括一系列高智能方法来简化光谱分析。这包括FFT 窗口功能,波长范围自动优化, 以及光学厚度滤波。我们会讲到光斑尺寸的影响以及设备的选配。 还会讲到多层薄膜的应用。